설명
설명
MOCVD 흑연 서셉터는 금속{0}}유기화학 기상 증착(MOCVD) 시스템의 중요한 구성 요소입니다. 이는 박막의 에피택셜 성장 중에 반도체 기판을 단단히 고정하고 균일하게 가열하도록 설계된 고온 열 전도성 플랫폼 역할을 합니다.
포장 및 배송
나무 상자 패키지
특징
- 빠르고 균일한 열전달을 위한 우수한 열전도율
- 극한 조건에서도 높은 기계적 강도와 치수 안정성
- 안정적인 기판 배치를 위해 부드럽고 정밀하게 가공된 표면
- 가스 흐름 역학 및 열 구배에 영향을 미치도록 설계되었습니다.
이점
- 에피{0}}층에서 균일한 필름 두께와 우수한 결정질 품질을 보장합니다.
- 안정적인 기판 온도 제어를 통해 높은 공정 반복성과 수율을 가능하게 합니다.
- 내식성으로 인해 서비스 수명 연장 및 입자 오염 감소
- 반복되는 열 사이클에도 불구하고 구조적 무결성을 유지하여 공정 신뢰성을 보장합니다.
애플리케이션
- 실리콘, 탄화규소 또는 사파이어와 같은 기판에서 화합물 반도체 층(예: GaN, GaAs, InP)의 에피택셜 성장을 위한 MOCVD 반응기에서 주로 사용됩니다.
- 광전자 장치(LED, 레이저 다이오드) 및 무선-주파수(RF) 전력 반도체 제조에 필수적입니다.
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